Augstas-tīrības izostatiskā spiediena grafīta vadošie gredzeni ir tiešās vilkšanas (CZ) monokristāla silīcija krāsns termiskā lauka sistēmas galvenie funkcionālie komponenti. Tie ir precīzi izgatavoti no 4N/5N augstas -tīrības izostatiskā spiediena mākslīgā grafīta un galvenokārt tiek uzstādīti virs grafīta tīģeļa, vadotnes caurules iekšējā un ārējā pusē un ap kristāla vilkšanas kanālu.
Iekārta ilgstoši darbojas vakuuma vidē ar inertu argona gāzes atmosfēru, temperatūrā no 1400 līdz 1600 grādiem pēc Celsija. Tās pamatfunkcijās ietilpst gāzes plūsmas vadīšana, termiskā lauka ierobežošana, kristāla stieņa novietošana, silīcija tvaiku izšļakstīšanās novēršana un piemaisījumu piesārņojuma novēršana.
Uzstādīšanas vieta un konstrukcijas forma
Tipiska uzstādīšanas vieta
Tas ir novietots monokristāla krāsns termiskā lauka augšējā daļā, starp izkausētā silīcija šķidruma virsmu un augšējo izolācijas vāku, kas ieskauj sēklu kristāla stieni un augošo monokristāla silīcija stieni. Daži modeļi ir apvienoti ar plūsmas virzošo cauruli.
Galvenā struktūra
Kopējā gredzena -formas struktūra, kas sadalīta integrētā gredzena tipa, atsevišķas kombinācijas tipa, pakāpienu pozicionēšanas veida un daudz{1}}caurumu gaisa plūsmas virzīšanas tipa; atbilstoši dažādiem 12-28 collu krāšņu tipiem ar to var apstrādāt liela diametra, plānām-sienu un īpašas formas pozicionēšanas rievas un citas konstrukcijas ar apstrādes pielaidi līdz ±0,01 mm.
Efektivitātes lēciens Precizitāte un stabilitāte
Gaisa plūsmas vadība: regulējiet argona gāzes aizsardzības plūsmas virzienu krāsnī, lai gāze cirkulētu pa iepriekš iestatītu ceļu, noņemot netīrumus un iztvaicēto siltumu no silīcija šķidruma virsmas un stabilizējot krāsns iekšējo atmosfēru.
Termiskā lauka ierobežošana: izmantojot grafīta lieliskās siltumizolācijas un siltumvadītspējas īpašības, ierobežo radiālo temperatūras lauku, samazina temperatūras starpību krāsnī un neļauj kristāla stienim radīt dislokācijas un plaisas neparastu vietējo temperatūras atšķirību dēļ.
Mehāniskā ierobežojuma norāde: Nodrošiniet monokristāla silīcija stieņa radiālo pozicionēšanu vilkšanas laikā, lai novērstu kristāla stieņa šūpošanos vai sasvēršanos, nodrošiniet kristāla stienim vertikāli un koaksiāli augšanu un samaziniet ražošanas kļūdas, piemēram, lūzumus un līkus stieņus.
Pamatdarbības princips
Aizsardzība pret šķēršļiem: novērsiet augstas -temperatūras silīcija tvaiku un oglekļa pulvera izšļakstīšanos, izvairoties no to piestiprināšanas pie kristāla stieņa, krāsns korpusa augšējām izolācijas daļām un optiskā novērošanas loga, nodrošinot nepārtrauktu un stabilu kristāla vilkšanas procesu.
Tīra aizsardzība: augstas -tīrības pakāpes substrāts neizdala kaitīgus piemaisījumus, novēršot metāla un pelnu piemaisījumu sajaukšanos silīcija kausējumā un kristāla stienī jau pašā sākumā.
Galvenās veiktspējas īpašības (ar datu atbalstu)
(1) Īpaši-augsta tīrība, ārkārtēja tīrība (galvenā priekšrocība)
Izmantojot augstas -temperatūras dziļās attīrīšanas tehnoloģiju, fiksētais oglekļa saturs ir lielāks par vai vienāds ar 99,99% (4N), bet augstākās klases modelim tas var sasniegt 99,999% (5N); pelnu saturs ir mazāks vai vienāds ar 50 ppm, un metālu piemaisījumi (Fe, Al, Ca, Cu utt.) ir mazāki vai vienādi ar 1 ppm. Augstas-temperatūras vakuuma vidē nav gaistošo vielu vai metāla tvaiku emisijas, kas nepiesārņo silīcija kausējumu un vienu -kristāla silīcija stieni, nodrošinot mazākuma nesēja kalpošanas laiku un silīcija vafeles fotoelektriskās pārveides efektivitāti, kā arī atbilst augstām{11}}tīrības un pusvadītspējas apstrādes prasībām.
(2) Izostatiskā presēšana, izotropiska, stabila struktūra
Aukstā izostatiskā trīsdimensiju presforma ar vienmērīgu materiāla blīvumu un bez virziena, tilpuma blīvums ir 1,85–1,95 g/cm³. Mehāniskās un termiskās īpašības ir konsekventas visos virzienos, un tas nedeformējas, nedeformējas un neplaisā ilgstošas -augstas-temperatūras ciklā, saglabājot precīzus robežizmērus.
(3) īpaši augsta-temperatūras izturība, lieliska termiskā stabilitāte un termiskā triecienizturība
Vakuuma/inertā argona atmosfērā ilgstošas lietošanas temperatūra- ir 1400–1600 grādi, un maksimālā temperatūras pretestība var sasniegt 2200 grādus; termiskās izplešanās koeficients ir tikai 4,0 ~ 4,8 × 10⁻⁶ / grāds (istabas temperatūra līdz 1500 grādiem), ar ārkārtīgi mazu termisko izplešanos un kontrakciju. Saskaroties ar biežām temperatūras izmaiņām un vienkristāla krāsns strauju dzesēšanu un sildīšanu, to var ilgstoši izmantot stabili, neradot plaisāšanas vai atdalīšanās risku.
kurš mūs izvēlas?
1. Tenoloģiski uzlabots: neatkarīgi apgūstot augstas-tīrības grafīta pamattehnoloģiju, tiek sasniegti 4N/5N tīrības standarti, un pārklājums ir neatkarīgi izstrādāts un izturīgāks;
2. Stabila kvalitāte: pilnīga-procesa kvalitātes kontrole + starptautiski sertifikāti ar augstu izmēru precizitāti un stabilu augstas -temperatūras veiktspēju;
3. Ātra pielāgošana: pilnībā saderīgs ar 12-28 collām visu veidu krāsnis, paraugus var ražot 7 dienu laikā, un partijas piegādi var pabeigt 15 dienu laikā;
4. Izmaksu{1}}efektīva: vertikāla piegādes ķēde, cena ir par 30% zemāka nekā importētajiem produktiem, ar atlaidēm lielapjoma pasūtījumiem;
5. Lielisks serviss: divu-valodu tehniskais atbalsts + atbilstošs muitošanas + 1-gadu garantija, ko apstiprinājuši vadošie klienti.
vienas{0}}pieturas risinājums
profesionāla komanda
augstas kvalitātes
| Vienums | Tipiskā vērtība | Piezīmes |
|---|---|---|
| Oglekļa tīrība | Lielāks vai vienāds ar 99,99% (4N) / lielāks vai vienāds ar 99,999% (5N) | Kopējais piemaisījumu daudzums ir mazāks par vai vienāds ar 100 ppm (4N); Mazāks vai vienāds ar 10 ppm (5N) |
| Tilpuma blīvums | 1,85–1,95 g/cm³ | Auksti izostatiski presēts, smalkgraudains un izotropisks |
| Fleksiskais spēks | Lielāks vai vienāds ar 45 MPa | Spiedes stiprība Lielāka vai vienāda ar 80 MPa |
| Pelnu saturs | Mazāks vai vienāds ar 50 ppm | Augstas{0}}temperatūras attīrīšana apstrādāta |
| CTE (RT ~ 1500 grādi) | 4,0–4,8 × 10⁻⁶ / grāds | Laba izmēru stabilitāte un termiskā triecienizturība |
| Siltumvadītspēja | 120–150 W/(m·K) | Vienmērīga siltuma sadale |
| Pretestība | 8–15 μΩ·m | Vienmērīga elektrovadītspēja |
| Nepārtraukta darba temp. | 1400–1600 grādi (vakuums/ar) | Maksimāli 2200 grādi inertā atmosfērā |
| Maksimālā temp. gaisā | Mazāks vai vienāds ar 450 grādiem (bez pārklājuma) | Līdz 1800 grādiem ar SiC pārklājumu |
| Graudu lielums | Mazāks vai vienāds ar 10 μm | Blīvā struktūra augstas precizitātes apstrādei |
| Pēc izvēles pārklājums | SiC/PYC (pirolītiskais ogleklis) | Pret-silīcija iesūkšanās, ilgāks kalpošanas laiks |
Populāri tagi: augstas tīrības pakāpes izostatiskais grafīta vadotnes gredzens cz monokristāla krāsnīm, Ķīna augstas tīrības izostatiskais grafīta vadotnes gredzens cz monokristāla krāsns ražotājiem, piegādātājiem, rūpnīcai
