Grafīta elektrodi integrālo shēmu ražošanai
Jincheng Graphite kā profesionāls grafīta izstrādājumu ražotājs nodrošina grafīta elektrodus ar augstu vadītspēju un augstu termisko stabilitāti integrālo shēmu ražošanai. Šie elektrodi ir īpaši izstrādāti galvenajiem procesiem, piemēram, litogrāfijai, kodināšanai un uzklāšanai, un tiem ir augstas precizitātes apstrādes iespējas, ilgs kalpošanas laiks un zems termiskais spriegums. Tos plaši izmanto augstākās klases-pusvadītāju ražošanas nozarē.
Galvenā priekšrocība
Augsta vadītspēja un termiskā stabilitāte
Izmantojot augstas-tīrības grafīta substrātus un apvienojot nanomēroga virsmas apstrādes tehnoloģiju, vadītspēja sasniedz 10^5 S/m vai vienādu ar to, un termiskās izplešanās koeficients ir mazāks vai vienāds ar 3,5 × 10⁻⁶/grādi. Tas nodrošina konstrukcijas stabilitāti augstas temperatūras -temperatūras procesos un novērš plāksnīšu termisko deformāciju.
Precīzas apstrādes savietojamība
Izmantojot lāzergriešanu, plazmas kodināšanu u.c., tas atbalsta elektrodu biezumu no 0,05 līdz 3 mm un pielāgotas sarežģītas ģeometrijas, kas ir piemērotas vafeļu apstrādes iekārtām progresīviem procesiem, kuru garums nepārsniedz 5 nm un atbilst augstas-precizitātes izlīdzināšanas prasībām.
Izturība pret koroziju un nodilumizturība
Virsma tiek pakļauta ķīmiskai pasivēšanai. Tas iztur spēcīgas skābes korozijas testus ar HF, HNO₃ utt., un var izturēt temperatūru līdz 1500 grādiem vai augstāk, ievērojami pagarinot elektrodu kalpošanas laiku un samazinot procesa pārtraukumu risku.
Lietojumprogrammas scenārijs
Grafīta elektrodi, ko izmanto integrālo shēmu ražošanā, tiek plaši izmantoti tādos galvenajos procesos kā plazmas kodināšana (dziļai sub-mikronu tranšejas apstrādei), ķīmiskā tvaiku pārklāšana (CVD) un fizikālā tvaiku pārklāšana (PVD). To zemā termiskā sprieguma īpašība var efektīvi novērst defektus, ko izraisa plākšņu nevienmērīga termiskā izplešanās, palielinot augstākās klases mikroshēmu iznākumu līdz vairāk nekā 99,8% un palīdzot panākt mikroshēmu ražošanas procesu miniaturizāciju un augsta{4}blīvuma integrāciju.
Tehniskās specifikācijas
| Elektrovadītspēja | Lielāks vai vienāds ar 10^5 S/m (istabas temperatūrā) |
| Termiskās izplešanās koeficients | Mazāks vai vienāds ar 3,5 × 10⁻⁶/grādi |
| Virsmas raupjums | Ra Mazāks vai vienāds ar 0,2 μm |
| Izturība pret koroziju | Izturējis testus stiprās skābēs, stipros sārmos un plazmas vidē |
| Mehāniskā izturība | Spiedes stiprība Lielāka vai vienāda ar 120 MPa |
Jincheng grafīta kvalitātes nodrošināšana
Jincheng Graphite ir dziļi iesaistīts grafīta izstrādājumu jomā 18 gadus. Tam ir savas neatkarīgas intelektuālā īpašuma tiesības uz zemas temperatūras saķepināšanas tehnoloģiju un ISO9001 kvalitātes vadības sistēmas sertifikācija. Tas stingri kontrolē visu procesu no izejmateriālu attīrīšanas (tīrības pakāpe, kas lielāka par vai vienāda ar 99,99%), formēšanas un presēšanas līdz augstas -temperatūras saķepināšanai, lai nodrošinātu, ka produkti atbilst stingrām pusvadītāju nozares prasībām attiecībā uz tīrību (ISO 4 klase), termisko stabilitāti (±0,5 grādi) un virsmas līdzenumu (1 vai μm līdz 0).
Sadarbības apņemšanās
Jincheng Graphite piedāvā bezmaksas paraugu testēšanu, 72-stundu tehnisko atbildi un atbalstu nelielai-izmēģinājuma ražošanai. Tas var pielāgot elektrodu izmērus, vadošās veiktspējas parametrus un virsmas apstrādes plānus atbilstoši klienta procesa prasībām. Tā ir apņēmusies nodrošināt augstas veiktspējas un uzticamus grafīta elektrodu risinājumus globālajiem pusvadītāju uzņēmumiem. Pateicoties profesionālajām tehnoloģijām, ātrai piegādei un nepārtrauktiem jauninājumiem, tas ir kļuvis par galveno partneri termiskās vadības un precīzas apstrādes jomā integrālo shēmu ražošanā.
Populāri tagi: grafīta elektrodi ledus ražošanai, Ķīnas grafīta elektrodi ledus ražošanai ražotājiem, piegādātājiem, rūpnīcām
