I. Grafīta tīģelis viena kristāla vilkšanas krāsnim (CZ serdeņa patēriņa materiāls viena kristāla silīcijam)
Nozares zināšanu punkti
Lietošana: Izkausēta silīcija materiāla noturēšanai, nodrošinot veidnes dobumu monokristāla silīcija stieņu audzēšanai, piemērots 12/14/16{3}}collu liela izmēra monokristāla krāsnīm;
Izaicinājumi darba vietā: ilgstoša-iegremdēšana 1420 grādu silīcija šķidrumā, parastais grafīts ir pakļauts silīcija noplūdei, plaisāšanai un piemaisījumu, piemēram, pelnu, ievešanai;
Nozares stingrie standarti: pelnu saturam jābūt mazākam par 20 ppm vai vienādam ar to; pretējā gadījumā uz silīcija stieņiem var būt melni plankumi vai tie neatbilst pretestības ātruma prasībām.
Galvenie tehniskie parametri
| Pārbaudes vienums | Standarta parametrs |
|---|---|
| Izejviela | Īpaši-smalki graudains izostatiskais grafīts |
| Pelnu saturs | Mazāks vai vienāds ar 20 ppm |
| Tilpuma blīvums | 1,88–1,93 g/cm³ |
| Servisa cikls | 180 ~ 240 krāsns darbi |
| Termiskā triecienizturība | Nav plaisu pēc 100 karsēšanas{1}}dzesēšanas cikla |
2.PECVD plēves uzklāšanas grafīta laiva (silīcija plāksnīšu uzklāšanas nesējs)
Nozares zināšanu punkti
1. Funkcija: pārvadā 182/210 mm silīcija vafeles nogulsnēšanas kamerā, lai pabeigtu akumulatora elementu nitrīda pārklājumu;
2. Nozares tendence: lielas plānas vafeles, šaurs slota dizains, viena laiva var pārvadāt par 30% vairāk vafeles nekā iepriekš, piemērota automatizētām ražošanas līnijām;
3. Zaudējumu loģika: plazma nepārtraukti bombardē virsmu, grafīta laiva bez pārklājuma ir jānomaina pēc 300 cikliem; SiC pārklājuma modeļa kalpošanas laiks tiek palielināts 2 reizes.
Galvenie tehniskie parametri
| Pārbaudes vienums | Standarta parametrs |
|---|---|
| Saderīga ar vafelēm | 182 mm / 210 mm silīcija vafele |
| Apstrādes pielaide | ±0,02 mm spraugas sprauga |
| Pārklājuma iespēja | SiC pretplazmas pārklājums |
| Vienots kalpošanas laiks | 300 reizes (bez pārklājuma) / 700 reizes (ar SiC pārklājumu) |
| Atvērt porainību | Mazāks vai vienāds ar 0,15% |
3. Grafīta sildelements (vienkristāla krāsns sildīšanas galvenā sastāvdaļa)
Nozares zināšanu punkti
1. Funkcija: starojuma karsēšana vakuuma krāsnī, saglabājot nemainīgu silīcija kausējuma temperatūru, nosakot kristāla stieņa diametra stabilitāti;
2. Veiktspējas prasības: pretestībai jābūt vienmērīgai bez novirzēm, vietēja pārkaršana var izraisīt silīcija stieņa pārrāvumu vai režģa defektus;
3. Nozares likvidēšanas tendence: rupja-graudaina grafīta sildelementi pakāpeniski tiek aizstāti ar īpaši-smalki graudainiem-izostatiskajiem elementiem.grafīta presēšana.
| Pārbaudes vienums | Standarta parametrs |
|---|---|
| Darba temp | Maksimālais 1600 grādu nepārtraukts |
| Pretestības novirze | Mazāks vai vienāds ar 3% visā daļā |
| Siltumvadītspēja | Lielāks vai vienāds ar 140 W/(m·K) |
| Oksidācijas izturība | Stabils vakuuma inertā atmosfērā |
| Kalpošanas laiks | 1200 krāsns cikli |
IV. Grafīta novirzīšanas cilindrs/termiskais ekrāns (viena kristāla izolācijas novirzīšanas sastāvdaļa)
Nozares zināšanu punkts
Mērķis: izolēt krāsns korpusa auksto zonu, vadīt argona gāzes plūsmu, stabilizēt kristāla stieņa termiskā lauka gradientu un samazināt dislokācijas defektus;
Rūpniecības process: divslāņu-kompozītmateriālu struktūra ar augsta-blīvuma iekšējo slāni un zema-blīvuma ārējo slāni izolējošo grafītu;
Bieži sastopamās kļūdas: termiskā ekrāna deformācija izraisīs silīcija stieņa biezuma svārstības un akumulatora pārveidošanas efektivitātes samazināšanos par 0,3% līdz 0,8%.
V. Sēklu kristāla vārpsta + grafīta vilkšanas stienis (kristāla vilkšanas piekares komponents)
Nozares zināšanu punkts
Mērķis: turēt sēklu kristālu un vilkt, lai izveidotu vienu{0}}kristāla silīcija stieni. Tas var ilglaicīgi-pāriet abpusēji kustībā un mainīgos aukstuma un karstuma apstākļos.
Materiāla izvēles loģika: īpaši{0}}augstas lieces stiprības grafīts. Pacelšanas un vilkšanas laikā tas nav pakļauts lūzumam, tādējādi izvairoties no visas silīcija materiālu partijas izšķērdēšanas.
Rūpniecības kontrole: katra gabala svara kļūda tiek stingri kontrolēta, lai novērstu smaguma centra pārvietošanos vilkšanas laikā.
VI. Polikristāliskā stieņa grafīta veidne (配套 priekš DS lietņu krāsns)
Nozares zināšanu punkti
Lietošana: Satur silīcija šķidrumu dzesēšanai un polikristāliska silīcija lietņu veidošanai. Pārsvarā izmanto zemu -izmaksu sadalītām fotoelementu silīcija plāksnēm;
Diferenciālie darbības apstākļi: salīdzinot ar viena{0}kristāla sildīšanas sistēmām, grafīta veidnes lietņu liešanai ir vairāk vērstas uz to, lai izturētu lielas-apgabala eroziju, ko izraisa silīcija šķidrums;
Tirgus statuss: Polikristāliskā ražošanas jauda ir samazinājusies, un produkti pakāpeniski tiek eksportēti uz ārzemēm un Dienvidaustrumāzijas fotoelementu rūpnīcām.
VII. SiC pārklātas grafīta daļas (universāls jaunināšanas izdevums visām kategorijām)
Nozares zināšanas
Procesa princips: uz grafīta virsmas tiek uzklāta karbonizēta silīcija plēve, lai izolētu silīcija šķidrumu, plazmu un augstas -temperatūras skābekli;
Nozares vērtība: visu fotoelektrisko grafīta detaļu kalpošanas laiks pēc pārklājuma tiek palielināts 1,8 līdz 2,5 reizes, samazinot iekārtu izslēgšanas un nomaiņas biežumu;
Pielietojuma joma: Grafīta laivas, tīģeļus un sildelementus var pielāgot ar pārklājumu.
Vispārējas nozares papildu zināšanas
Tīrības sarkanā līnija: pelnu saturs fotoelektrisko silīcija plātņu grafīta komponentos ir jākontrolē 20 ppm robežās. Metāla piemaisījumi tieši sabojās fotoelektrisko elementu PN savienojumu;
Izmaksu loģika: SiC pārklājums palielinās atsevišķas{0}}gabala iepirkuma izmaksas, bet ievērojami samazinās kopējos silīcija plātņu zudumus ražošanas līnijas dīkstāves un lūžņu dēļ;
Ārpakalpojumu tirgus tendences: jaunu fotoelementu rūpnīcu celtniecība Dienvidaustrumāzijā un Tuvajos Austrumos katru gadu palielina pieprasījumu pēc pilnīgas augstas -tīrības grafīta apkures sistēmām un liela izmēra-grafīta laivām.
